四甲基氢氧化铵百度百科

四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种常见的有机化学试剂，化学式为（CH3）4NOH。它是一种强碱性物质，常用于有机化学合成中作为去除保护基、裂解化合物和提取有机物等方面。此外，TMAH还常用于半导体工业中作为显影剂、清洗剂和蚀刻剂等。

TMAH的物理性质为无色至微黄色透明液体，具有强烈的氨味。在水中易溶，可与许多有机物发生反应。TMAH的化学性质非常活泼，易与酸、酯、醇等发生反应，生成相应的盐类和醚类化合物。

在有机合成中，TMAH常用于去除酰基保护基、酰氨基保护基、硅烷保护基等，以及将杂环化合物和醇类化合物裂解成相应的醛、酮或酸。此外，TMAH还常被用于分离和提取天然产物、药物和化学品等。

在半导体工业中，TMAH常用作显影剂、清洗剂和蚀刻剂。它在半导体工艺中的应用非常广泛，能够对硅、氮化硅、多晶硅等材料进行有效的蚀刻和清洗。

总的来说，TMAH是一种非常重要的有机化学试剂，在有机合成和半导体工业等领域中具有广泛的应用前景。但是由于其强碱性和活泼性质，使用时需注意安全操作，避免对人体和环境造成危害。